台積電進貨？　這輛車隊載著114億元地表最貴重裝備現身竹科

眾所同知台積電的先進製程不僅是最關鍵的核心業務，更是領先全球的半導體關鍵技術，近年隨著擴建新廠也持續添購最先進的EUV（極紫外光光刻機）機台，造價每台單位以１億美元起跳，日前有人拍下路上5輛大型運輸車組成的車隊，正載運著疑似EUV設備的影片在社群平台山上流傳，若這些運輸車載的是最先進的EUV設備，估計總價值超過4億美元（約新台幣114億元）。

這段在社群平台上流傳，長度約25秒的影片中，看到載著半導體重裝備製造商艾司摩爾（ASML）的EUV貨櫃，一共有5輛大型拖車，其中一輛載著2個標準貨櫃，另外4輛各自載1個EUV貨櫃，車隊由新竹科學園區的園區二路一路向工業東三路方向行駛，最後在過了工業東三路後便右轉上了中山高速公路。而園區二路兩旁正是半導體龍頭台積電重要的廠區所在。

目前EUV一台的售價就超過1億美元（約新台幣28.5億元），以4台EUV專用貨櫃來算，這車隊正載運著114億元在路上跑。這段影片看來是被熟悉半導體產業的人士所拍下，一眼就看懂ASML品牌及貨櫃長相。

台積電目前光是7nm及5nm製程的營收就占了整體的49％，將近一半，在先進製程上持續推進，包括優化4nm與建置3nm產線，訂單滿手能見度已經看到2022年，今年EUV的採購數量超過50台。本刊查證台積電是否有新設備進廠，台積電不予回應。